1、高精度恒温恒湿环境的特点
高精密恒温恒湿指光刻、纸张、纺织测试等要求极高的实验室恒温恒湿环境，一般空调精度为温度±0.1～0.2℃，湿度2％以内。为达到实验室高精度恒温恒湿要求，维护结构必须达到《采暖通风与空气调节设计规范》 GB50019-2003中对维护结构的要求。
2、高精度恒温恒湿空调方案
1）高精度恒温恒湿方案在温度要求±0.5℃，湿度±2％及其以上时，可以选择直膨风冷机组。
目前随着控制技术不断成熟和高精度传感器技术的引进，高精度一体化恒温恒湿机组已经可以满足温度要求±0.3℃，湿度±2％的精密环境要求。全自动微电脑控制系统所采用的动态控制方式可保证温度在长冲和下冲时控制在±0.2℃内。
温度控制：采用世界先进的制冷压缩机和控制技术，根据不同情况可采用变频或智能流量控制系统，不仅具有极高的稳定性，更需要快速动态反应能力。可保证温度高精度要求，以及形成均匀的温度水平剃度和温度垂直剃度，保持温度的精度和均衡。
湿度保证：微电脑控制的自动加湿系统通过对加湿量连续调节，确保湿度的精确控制。采用电极或电热式蒸汽加湿。在出现环境相对湿度高于设定值时，微电脑程序自动启动冷凝除湿系统，温控系统电加热可控硅多级控制，起到等温除湿的效果。
新风系统：新风调节控制范围为总风量的10％之内，经降温除湿/加热加湿处理后送入空调机组回风口。
2）高精度恒温恒湿方案在温度要求±0.5℃，湿度±2％以内时，也可以采用冷水机组加AHU空气处理机组的方式。
配置加湿器、加热器、辅助设备和自控系统。可以发挥各个设备的功效，便于查找和排除系统故障，克服直膨机组制冷、加湿、加热功率各因素间相互干扰。
同时，在恒温恒湿方面，湿度控制难度大于温度控制。直膨机组采用无露点控制方式在湿度要求小于±1.5％时是无法实现的。只能采用冷水盘管的定露点控制方式，相当于对终状态的含湿量的控制，精确控制湿度。温度再根据温度传感器由一次加热和精加热控制。
系统采用一次回风，新风、回风混合后，经表冷器、送风机、一级电加热器、二级电加热器、电热加湿器送入房间。
系统温度由电加热器控制。一级电加热器为基本加热器，它热容量大，滞后大，为温度粗调部件；二级电加热器容量小，滞后小，为温度精调部件。
系统湿度由电加湿器控制。针对湿度控制精度要求高，可采用进口高精度电热加湿器及反冲水装置。
温湿度控制系统图如下：
夏季混合空气经表冷器除湿降温，由两级电加热器加热控制房间温度；冬季表冷器停用，混合空气由两级电加热器加热控制房间温度。
空调系统热惰性大，滞后大。房间温度控制主要扰量有新风温度扰动、夏季表冷器制冷量不稳定扰动、表冷器除湿量改变引起送风温度扰动、房间热扰动等。
系统采用一级电加热器粗调，二级电加热器精调的控制思想。为实现该策略，二级电加热器配备了可控硅。
